羅茨真空泵的原理

文章來源：http://www.fveacw.cn 發(fā)布時間：2022-09-21 瀏覽次數(shù)：124

羅茨真空泵的原理：

　羅茨真空泵是雙轉(zhuǎn)子容積式真空泵。泵腔內(nèi)有兩個對稱的轉(zhuǎn)子形狀，轉(zhuǎn)子形狀有兩個、三個和四個葉片。兩個轉(zhuǎn)子相互反向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動同步旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子互不接觸，通常有0.15~1.0mm的間隙，泵腔被間隙密封。

　由于羅茨真空泵的泵腔內(nèi)沒有摩擦，因此轉(zhuǎn)子可以高速運轉(zhuǎn)，一般為1500~3000r/min，無需用油潤滑，可以實現(xiàn)無油清潔的泵送過程。泵的潤滑部件限于軸承、齒輪和動密封。該泵沒有往復(fù)運動部件，可以實現(xiàn)良好的動平衡。因此，羅茨泵運行平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速高，體積小，可獲得較大的泵送速度。

由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，泵送氣體從吸入口進入泵腔，密封在吸入腔的泵體內(nèi)，然后通過排氣口排出泵外。由于吸入泵體空間的氣體沒有被壓縮，當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部翻轉(zhuǎn)排氣口的邊緣時，此時泵體空間與排氣側(cè)連通。由于排氣側(cè)的氣體壓力較高，一些高壓氣體回流到泵體空間，導(dǎo)致泵腔內(nèi)的壓力突然上升到排氣壓力。這就是所謂的外部壓縮過程。轉(zhuǎn)子當(dāng)它繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，泵送的氣體從泵中排出。轉(zhuǎn)子泵的泵送過程是通過兩臺轉(zhuǎn)子泵的連續(xù)運行來實現(xiàn)的。

　　羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用時，一般與以前的泵(旋葉真空泵、滑閥真空泵、水環(huán)真空泵等)串聯(lián)形成一個單元，在中等真空范圍內(nèi)用作機械增壓泵。兩級或多級羅茨泵機組可獲得高真空；